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名 称：辽宁冠华半导体有限公司认 证：工商信息已核实
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产品简介
该系列是一款专门应用于密闭腔体或容器中的压力测控产品，使用两个比例阀门，通过将压力传感器与阀门和流道物理隔离，精确控制密闭腔体或容器的气体的绝压或表压能有效减少由于持续排气造成的昂贵气体浪费，被广泛应用于半导体等多种高端工艺制程。 控压精度高，可达到±0.25% FS 快响应，*快可达到 30ms 双阀设计，避免持续排放昂贵气体造成的浪费灵活定制，多种通讯模式、机械接头适用于半导体等多种高端工艺制程
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