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P21C-系列质量流量控制器/流量计 P21C系列(质量流量控制器/质量流量计)是为高端半导体工艺制程而设计,该系列产品全部采用金属密封,产品严格按照SEMI标准生产制造,符合半导体高端设备工艺需求。 超高精度,可达+0.05%F.S 超快速响应<200ms 重复性对标行业**产品,可达 0.02%F.S. 可定制多种工作压力、通讯模式、屏幕显示、机械接口,适用于高精尖端工艺制程
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