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名 称：辽宁冠华半导体有限公司认 证：工商信息已核实
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产品简介
P21H-系列(质量流量控制器/质量流量计)是专为需要高纯度全金属流道的半导体制程和其他高精尖气体流量控制应用而设计的，开放式流道设计以及基于内部精确容积的在线自校准能力，为气体质量流量的控制、测量提供了极高的准确度及可靠性。 超高精度，可达±0.05% F.S. 超快速响应<200ms 重复性对标行业**产品，可达 0.02%F.S. 接液材料采用316L VimVar+KM45+PCTFE，耐腐蚀性好可定制多种工作压力、通讯模式、屏幕显示、机械接口，适用于高精尖端工艺制程
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